@InProceedings{AraújoTrav:2016:CVGrMo,
author = "Ara{\'u}jo, Let{\'{\i}}cia Maiara de and Trava-Airoldi,
Vladimir Jesus",
affiliation = "{Faculdade de Tecnologia (FATEC)} and {Instituto Nacional de
Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Estudos do controle da taxa de crescimento de diamante - CVD de
grau monocristalino em reator de micro-ondas de alta
pot{\^e}ncia",
year = "2016",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
publisher = "Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais",
address = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
abstract = "O projeto em Diamante - CVD e seus Materiais Relacionados, O
DIMARE, do INPE tem estado sempre em evid{\^e}ncia
aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais. Objetiva-se com esta proposta,
inovar para uma das mais cobi{\c{c}}adas {\'a}reas de estudos em
Diamante - CVD, que {\'e} a de obter o diamante em estrutura mono
cristalina via baixas press{\~o}es e baixas temperaturas, ou
seja, via rea{\c{c}}{\~o}es qu{\'{\i}}micas na fase vapor (CVD
do Ingl{\^e}s, Chemical Vapor Deposition). Neste trabalho,
aproveitando a especialidade do aluno, estudar-se-{\'a} uma
maneira de controlar mecanicamente o deslocamento do porta
substrato na mesma velocidade da taxa de crescimento do filme de
diamante, que {\'e} um procedimento necess{\'a}rio para se obter
grau mono cristalino. Este controle ser{\'a} obediente {\`a}
varia{\c{c}}{\~a}o de temperatura medida sobre o filme de
diamante, controlado por meio de pir{\^o}metro {\'o}ptico com
precis{\~a}o melhor que 0,1 C em 1000 C. Este controle {\'e} uma
parte importante do experimento, pois ajudar{\'a} a manter o
crescimento com uma {\'u}nica estrutura cristalina. O aluno
estar{\'a}, tamb{\'e}m, sendo introduzido {\`a} pr{\'a}tica
laboratorial em crescimento de diamante - CVD via reator de
microondas em 2,45 GHz de alta pot{\^e}ncia. Os principais
par{\^a}metros de crescimento deste tipo de filme de diamante CVD
estar{\'a} sendo estudado, com as devidas
caracteriza{\c{c}}{\~o}es, via MEV, espectroscopia de
espalhamento Raman, Difra{\c{c}}{\~a}o de Raio-X, entre outros,
em conjunto com a equipe.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
conference-year = "25-26 jul.",
language = "pt",
ibi = "8JMKD3MGP3W34P/3K27PAE",
url = "http://urlib.net/ibi/8JMKD3MGP3W34P/3K27PAE",
targetfile = "Araujo_estudos.pdf",
urlaccessdate = "20 set. 2024"
}